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COHERENT超短脈沖激光器Monaco高功率飛秒 Monaco高功率飛秒激光器在微加工和科學應用（如三光子顯微鏡）

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美國COHERENT IndyStar紫外激光器 高脈沖率-在24/7應用中高達2kHz。Semicon應用程序-符合Semi-S2標準。193nm和248nm-光刻開發、掩模和光學測試、微加工。